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合肥皓宇芯光申请极紫外光发生器及其使用方法专利，使发生器更加集成化，体积更小:氮气发生器
金融界2025年4月28日消息，国家知识产权局信息显示，合肥皓宇芯光科技有限公司申请一项名为“一种极紫外光发生器及其使用方法”的专利，公开号CN119890908A，申请日期为2025年3月氮气发生器
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金融界2025年4月28日消息，国家知识产权局信息显示，合肥皓宇芯光科技有限公司申请一项名为“一种极紫外光发生器及其使用方法”的专利，公开号CN119890908A，申请日期为2025年3月氮气发生器